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Espectroscopia óptica de emissão em plasmas frios aplicados à produção de materiais nanoestruturados

Martins, Jorge de Souto
Fonte: Faculdade de Ciências e Tecnologia Publicador: Faculdade de Ciências e Tecnologia
Tipo: Dissertação de Mestrado
Publicado em //2012 POR
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Dissertação para obtenção do Grau de Mestre em Engenharia Física; Pretendeu-se com este programa de trabalhos a implementação de uma configuração experimental e de um método para o estudo espectroscópico da emissividade ótica de plasmas frios em cátodos magnetrão, nomeadamente para plasmas utilizados na produção de filmes de materiais nanoestruturados por pulverização catódica RF. Este projeto envolveu o desenvolvimento de um sistema ótico para coletar e transportar a luz emitida na descarga através de uma fibra ótica para um espectrómetro, AvaSpec-3648-USB2 7.0 da Avantes, bem como o desenvolvimento de uma ferramenta em LabVIEW (Versão 10.0, 32-bit) para controlo do espectrómetro e aquisição dos espectros de emissão. Esta técnica foi utilizada ao longo das séries de deposições de filmes de óxidos mistos do tipo (A=Ho, Sm e ), a partir de alvos de pós compactados, tendo os espectros obtidos sido analisados de forma a tentar relacionar a informação da emissão espectroscópica dos diferentes compostos em fase gasosa no plasma com a composição do alvo. A deposição desses materiais a partir de alvos de pós compactados é de carácter inovador; o cátodo utilizado na deposição dos filmes foi desenhado e implementado no LPA (Laboratório de Plasmas e Aplicações/Linha 2 do CEFITEC)...