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Resultados filtrados por Publicador: Biblioteca Digital da Unicamp

Corrosão por plasma para tecnologias CMOS e microssistemas

Claudia Reyes Betanzo
Fonte: Biblioteca Digital da Unicamp Publicador: Biblioteca Digital da Unicamp
Tipo: Tese de Doutorado Formato: application/pdf
Publicado em 06/03/2003 PT
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Esta tese apresenta os resultados do desenvolvimento e da otimização de uma tecnologia própria na área de fabricação de dispositivos CMOS e Microssistemas, realizados no Centro de Componentes Semicondutores da UNICAMP, pretendendo desenvolver processos em uma das técnicas mais críticas da microfabricação: corrosão de materiais por plasmas. Neste trabalho foram desenvolvidos processos de corrosão dos seguintes materiais: nitreto de silício (SiNx), óxido de silício (SiO2) e silício policristalino implantado com fósforo, usados na fabricação de dispositivos CMOS, além de silício monocristalino usado na fabricação de Microssistemas. Cada processo de corrosão foi desenvolvido em base às características específicas requeridas do processo de fabricação tais como a taxa de corrosão, seletividade, anisotropia e qualidade da superfície. Para os processos de corrosão foram usados dois equipamentos diferentes: um reator para corrosão iônica reativa (RIE) e um reator para corrosão por ressonância ciclotrônica de elétrons (ECR). Para analisar os mecanismos de interação plasma-superfície no reator RIE, foi realizada uma caracterização do plasma através de dois modelos teóricos e por técnica de espectroscopia óptica (actinometria). Com isto...

Litografia artística brasileira : Lotus Lobo e Darel Valença Lins; Brazilian prints - litography : Lotus Lobo and Darel Valença Lins

Vitor Hugo Gorino
Fonte: Biblioteca Digital da Unicamp Publicador: Biblioteca Digital da Unicamp
Tipo: Tese de Doutorado Formato: application/pdf
Publicado em 15/08/2014 PT
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O presente trabalho analisa a produção litográfica de Darel Valença Lins (1924 -) e Lotus Lobo (1948 - ) das décadas de 1970 e 1980. Estes artistas desempenharam papeis de destaque na produção e no fomento da litografia artística no Brasil a partir de contextos e referenciais distintos, no Rio de Janeiro e em Minas Gerais, respectivamente. Suas produções autorais apresentam novas direções ao passo que incorporam imagens apropriadas em suas gravuras e, ao mesmo tempo trabalham com novas soluções processuais para as impressões, de forma que suas obras enquadrem-se dentro do grupo de artistas que investigam a gravura como meio expressivo ambivalente, caracterizado pela reprodução e pela multiplicação da imagem. Suas litografias se apresentam de tal forma, que reajustam e recompõem as imagens apropriadas recodificando-as, gerando uma nova construção na qual o registro original não mais as representa, mas também não se apaga por completo, semelhantemente ao que fazem os processos cognitivos de memória.; This work analyses the artwork of Darel Valença Lins (1924 -) and Lotus Lobo (1948- ) through the 1970's and 1980's. These artists played top roles in the artistic application and teaching of the lithographic printing process in Brazil...